개시된 실시예는, 시트 상의 측정 장소가 바로 외부 직경에 있도록 나이프 에지 시트를 갖는 직접 작용 솔레노이드 밸브 또는 파일럿 작동 벨로우스 밸브와 같은 힘 작동 변조 제어 밸브를 포함한다. 일실시예에서, 측정 에지의 외부에서의 밸브 시트의 부분은 고속 유체 흐름과의 접촉을 감소시키기 위해 실질적으로 외부 직경으로 제거된다. 특정 실시예에서, 흐름 차폐부는, 고속 유체가 스풀 조립체의 부분쪽으로 순환하는 것을 방지하기 위해 시트의 측정 에지의 바로 외부에 위치될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 흐름 차폐부는 기구의 바디에 고정될 수 있어서, 모든 유체력은 바디에 전달된다. 힘 작동 변조 제어 밸브의 실시예는 유체 흐름을 제어하기 위한 질량 흐름 제어기에 이용될 수 있다.