개시된 실시예는 질량 흐름 제어기를 개선하기 위한 방법을 포함한다. 일실시예에서, 방법은 제로로부터 비 제로로의 설정 지점 변화의 초기 응답 동안 흐름을 모니터링하는 단계와;밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞는 지의 여부를 결정하는 단계와; 밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞지 않는다는 결정에 응답하여 밸브 응답을 정정하기 위해 자가-조정을 자동으로 수행하는 단계를 포함하는 동작을 수행하기 위해, 프로세서를 이용하여 명령을 실행하는 질량 흐름 제어기를 포함한다.