알루미늄, 티탄, 및 산소의 혼합물(AlTiO)과 같은 혼합 금속 산화물의 박막 장벽 층(100)을 형성하는 방법은 할로겐화물 전구체, 산소 플라즈마, 및 유기 금속 전구체에 100℃의 표면 온도를 갖는 기판(110)의 순차적인 노출을 포함한다. 상기 방법으로 형성된 장벽 층은 유사한 전체 두께를 갖는 두 개의 금속 산화물의 나노적층물과 단일 금속 산화물 막을 초과하는 향상된 수증기 투습도를 보인다.