반도체 X-선 검출기
반도체 X-선 검출기
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특허 출원일자 : 2015.04.07
특허 등록일자 : 2019.01.18
특허 등록번호 : 10-1941898-0000
X-선을 검출하는데 적합한 장치가 개시되며, 이러한 장치는, 전극을 포함하는 X-선 흡수 층(110); 그리고 전자기기 층(120)을 포함하고, 여기서 전자기기 층(120)은, 제 1 표면(124) 및 제 2 표면(128)을 갖는 기판(122); 기판(122) 내에 혹은 기판(122) 상에 있는 전자기기 시스템(121); 제 1 표면(124) 상에 있는 전기적 접촉부(125); 비아(126); 그리고 제 2 표면(128) 상에 있는 재배선 층(RDL)(123)을 포함하고, RDL(123)은 전송 라인(127)을 포함하고, 비아(126)는 제 1 표면(124)으로부터 제 2 표면(128)으로 연장되고, 전극은 전기적 접촉부(125)에 전기적으로 연결되고, 전자기기 시스템(121)은 비아(126)를 통해 전기적 접촉부(125) 및 전송 라인(127)에 전기적으로 연결된다.
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