분배된 증착을 교정하는 방법 및 장치
분배된 증착을 교정하는 방법 및 장치
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특허 출원일자 : 2012.03.24
특허 등록일자 : 2018.12.04
특허 등록번호 : 10-1927202-0000
가변 스트로크 거리에 걸쳐 이동가능한 엑추에이터를 갖는 유형의 분배기(10)를 교정하는 방법은, 복수의 스트로크 거리 중 하나에 걸쳐 엑추에이터를 이동시킴으로써 분배기(10)로부터 점성 물질의 양을 분배하는 단계와; 점성 물질의 양을 무게 측정하는 단계와; 복수의 스트로크 거리 각각에 대해 분배 및 무게 측정 단계를 반복하는 단계와; 사용자 인터페이스 디바이스(28)를 이용하여 각 분배된 양의 중량을 사용자에게 디스플레이하는 단계를 포함한다.
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